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201901007.pdf
文章编号： 16726987（2019）01004404； DOI： 10.16351/j.16726987.2019.01.007
刘保强a， 孙璐璐b， 建方方a*
(青岛科技大学 a.化学与分子工程学院; b.材料科学与工程学院，山东 青岛 266042)
摘要： 通过化学气相沉积法（CVD）制备了三氧化二铁（αFe2O）六角晶体，后对制得的αFe2O3进行了系列表征，对反应机理进行了分析。同时构建了场效应晶体管（FET）考察了材料电学性能，并测试了器件对一氧化碳（CO）的气敏性能。实验表明：以三氯化铁（FeCl3）和水蒸汽（H2O）为原料通过CVD方法能够在相对温和的条件下制备准二维αFe2O3六角晶体；用制得的材料构建场效应晶体管具有良好的电学性能，并对CO气体具有很好的响应。
关键词： 化学气相沉积； 三氧化二铁； 场效应晶体管； 一氧化碳
中图分类号： O 063 文献标志码： A引用格式： 刘保强， 孙璐璐， 建方方. 三氧化二铁六角晶体的制备及其气敏性应用\[J\]. 青岛科技大学学报（自然科学版）， 2019， 40（1）： 4447.
LIU Baoqiang, SUN Lulu, JIAN Fangfang. Prepartion and gas sensitivity of hexagonal crystalline ferric oxide\[J\]. Journal of Qingdao University of Science and Technology（Natural Science Edition), 2019, 40(1)： 4447.
Prepartion and Gas Sensitivity of Hexagonal Crystalline Ferric Oxide
LIU Baoqianga, SUN Lulub, JIAN Fangfanga
(a.College of Chemistry and Molecular Engineering; b.College of Materials Science and Engineering, Qingdao University of Science and Technology, Qingdao 266042, China)
Abstract: Hexagonal crystalline of ferric oxide are prepared by chemical vapor deposition.Then we conducted a series of characterization of αFe2O3 crystal, and briefly discussed the reaction mechanism. The field effect transistor was constructed to investigate the electrical properties of the materials and the gas sensing of carbon monoxide were tested. The experimental results show that ferric oxide can be prepared under relatively mild conditions with ferric chloride and water vapor as raw materials. The field effect transistor constructed with the prepared materials have a good response to carbon monoxide.
Key words: chemical vapor deposition; αFe2O3; field effect transistor; carbon monoxide
收稿日期： 20171226
基金项目： 国家自然科学基金项目（21573253）.
作者简介： 刘保强(1990—)，男，硕士研究生.*通信联系人.
